Alternativa al Sputtering en Línea: Springon ™ Sistema de Pulverización Rotatoria | 90% de Capacidad en un Espacio de 1/6 | Sustrato de 600x600 mm
Sin reseñas
Atributos
Recubrimiento al vacioRevestimiento
Linea de producción de revestimientoTipo
380V CA 3 FASES+TERRAVoltaje
SPRINGON XL420Tipo de máquina
1 añoGarantía
120KWPotencia (W)
Lugar del origen:TAIWAN
Peso (KG):7800
Marca:MEGAENERGY
Dimensión (L*W*H):5m x 3.5m x 1.4m
Tamaño del sustrato:660*600mm
Cámara de proceso:3
Potencia de pulverización:20kW
Uniformidad (%):+-5%~15% (dependiendo del tamaño del sustrato)
Tasa de pulverización (Y2O3):Máximo 3,5 nm/s
Vacío final:<8e-6mbar
Utilización/vida útil del objetivo:>30%/350 ciclos
Características clave
Revestimiento
Recubrimiento al vacio
Tipo
Linea de producción de revestimiento
Voltaje
380V CA 3 FASES+TERRA
Tipo de máquina
SPRINGON XL420
Garantía
1 año
Dimensión (L*W*H)
5m x 3.5m x 1.4m(16.40ftx11.48ftx4.59ft)
Lugar del origen
Other
Marca
MEGAENERGY
Peso (KG)
7800
Potencia (W)
120KW(160.92hp)
Tamaño del sustrato
660*600mm
Cámara de proceso
3
Potencia de pulverización
20kW
Uniformidad (%)
+-5%~15% (dependiendo del tamaño del sustrato)
Tasa de pulverización (Y2O3)
Máximo 3,5 nm/s
Vacío final
<8e-6mbar
Utilización/vida útil del objetivo
>30%/350 ciclos
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