Máquina de Pulverización Reactiva de Doble Objetivo | Sistema Rotatorio de Alto Rendimiento para Películas Gruesas y Multicapa
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Atributos
Recubrimiento al vacioRecubrimiento
Linea de producción de revestimientoTipo
380V CA 3 FASES+TERRAVoltaje
-Tipo de filtro
SPRINGON XL220Tipo de máquina
1 añoGarantía
Potencia (W):80KW
Lugar del origen:TAIWAN
Peso (kg):5000
Nombre de la marca:MEGAENERGY
Dimensiones (L*A*A):4m x 2.5m x 1.4m
Tamaño del sustrato:660*600mm
Cámara de proceso:1
Potencia de pulverización:20kW
Uniformidad (%):+-5%~15% (dependiendo del tamaño del sustrato)
Tasa de pulverización (Y2O3):Máximo 3,5 nm/s
Vacío final:<8e-6mbar
Utilización/vida útil del objetivo:>30%/350 ciclos
Características clave
Recubrimiento
Recubrimiento al vacio
Tipo
Linea de producción de revestimiento
Voltaje
380V CA 3 FASES+TERRA
Tipo de filtro
-
Tipo de máquina
SPRINGON XL220
Garantía
1 año
Dimensiones (L*A*A)
4m x 2.5m x 1.4m
Lugar del origen
Other
Nombre de la marca
MEGAENERGY
Peso (kg)
5000
Potencia (W)
80KW
Tamaño del sustrato
660*600mm
Cámara de proceso
1
Potencia de pulverización
20kW
Uniformidad (%)
+-5%~15% (dependiendo del tamaño del sustrato)
Tasa de pulverización (Y2O3)
Máximo 3,5 nm/s
Vacío final
<8e-6mbar
Utilización/vida útil del objetivo
>30%/350 ciclos
Empaque y entrega
Unidades de venta
Artículo individual
Tiempo de entrega
Descripción de producto del proveedor
Cantidad mínima de compra: 1 conjunto
EUR 428,341- 728,17970
Variantes
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XL220
Envío
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