R R COMPANY

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Sistema Integrado de PVD, PECVD y ALD para Producción de Obleas

Name: Sistema Integrado de PVD, PECVD y ALD para Producción de Obleas
Brand: R R COMPANY
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Número de modelo

Características principales

Voltaje

220 V

Potencia (W)

10 kW

Componentes principales

PLC, Motor, Rodamiento, Caja de cambios

Garantía

1 año

Informe de prueba de maquinaria

Siempre

Inspección de salida por vídeo

Siempre

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Características clave

Voltaje

220 V

Potencia (W)

10 kW

Componentes principales

PLC, Motor, Rodamiento, Caja de cambios

Informe de prueba de maquinaria

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1 año

Inspección de salida por vídeo

Siempre

Lugar de origen

Guangdong, China

Peso (kg)

100

Nombre de la marca

Sistema de vacío

Bomba molecular (bomba criogénica) + bomba de respaldo

Límite de vacío

Mejor que 3.0*10^-5 Pa

Velocidad de bombeo

Bombeo a 5.0*10^-4 Pa ≤ 30 min

Tamaño de la etapa del sustrato

≥160*160 mm

Estructura de la Etapa de Sustrato

Estructura tipo cajón, giratoria para enmascarar

Temperatura del sustrato

Temperatura ambiente, calentado, refrigerado por agua

Fuente de haz de electrones

Crisol de 4~6 cavidades

Monitoreo del Espesor de la Película

Monitor de oscilador de cristal, precisión de 0,1 K/s

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Sistema Integrado de PVD, PECVD y ALD para Producción de Obleas

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