Sistema de Reactor ALD Pequeño para Investigación de Semiconductores
Sin reseñas
Atributos
220 VVoltaje
10 kWPotencia (W)
PLC, Motor, Rodamiento, Caja de cambiosComponentes principales
SiempreInforme de prueba de maquinaria
1 añoGarantía
SiempreInspección de salida por vídeo
Lugar de origen:Guangdong, China
Peso (kg):100
Nombre de la marca:BW
Sistema de vacío:Bomba molecular (bomba criogénica) + bomba de respaldo
Límite de vacío:Mejor que 3.0*10^-5 Pa
Velocidad de bombeo:Bombeo a 5.0*10^-4 Pa ≤ 30 min
Tamaño de la etapa del sustrato:≥160*160 mm
Estructura de la Etapa de Sustrato:Estructura tipo cajón, giratoria para enmascarar
Temperatura del sustrato:Temperatura ambiente, calentado, refrigerado por agua
Fuente de haz de electrones:Crisol de 4~6 cavidades
Monitoreo del Espesor de la Película:Monitor de oscilador de cristal, precisión de 0,1 K/s
Características clave
Voltaje
220 V
Potencia (W)
10 kW
Componentes principales
PLC, Motor, Rodamiento, Caja de cambios
Informe de prueba de maquinaria
Siempre
Garantía
1 año
Inspección de salida por vídeo
Siempre
Lugar de origen
Guangdong, China
Peso (kg)
100
Nombre de la marca
BW
Sistema de vacío
Bomba molecular (bomba criogénica) + bomba de respaldo
Límite de vacío
Mejor que 3.0*10^-5 Pa
Velocidad de bombeo
Bombeo a 5.0*10^-4 Pa ≤ 30 min
Tamaño de la etapa del sustrato
≥160*160 mm
Estructura de la Etapa de Sustrato
Estructura tipo cajón, giratoria para enmascarar
Temperatura del sustrato
Temperatura ambiente, calentado, refrigerado por agua
Fuente de haz de electrones
Crisol de 4~6 cavidades
Monitoreo del Espesor de la Película
Monitor de oscilador de cristal, precisión de 0,1 K/s
Empaque y entrega
Unidades de venta
Artículo individual
Tiempo de entrega
Descripción de producto del proveedor
1 - 2 conjuntos
EUR95,69043
≥ 3 conjuntos
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BW
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